Влияние параметров ионного облучения на образование дефектов в пленках кремния

Research indexJournal article

Шемухин, Назаров, Балакшин and 1 other

Поверхность Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования1 Jan 2014

Journal article

Шемухин, Назаров, Балакшин and 1 other · Поверхность Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования · 2014 · Subscription

Paywalled

The full text is at the publisher

Open it at the publisher to read it.

Discussion