Рассмотрены возможности и особенности применения метода масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой и лазерной абляцией при исследовании состава и гомогенности по допирующей примеси легированных прекурсоров Nb2O5 и шихты LiNbO3. Показано, что при масс-спектрометрическом анализе с лазерной абляцией порошковых образцов не наблюдается матричный эффект.