Research indexJournal article
ОБЗОР ТЕХНОЛОГИЙ ЗОНДОВОГО КОНТРОЛЯ КРИСТАЛЛОВ НА ПЛАСТИНЕ
Малышев, Пузанов
ELECTRONICS Science Technology Business11 Nov 2022
NobleIDark:/48914/w1/20260523/7A70D77DDOI10.22184/1992-4178.2022.220.9.114.118
Journal article
ОБЗОР ТЕХНОЛОГИЙ ЗОНДОВОГО КОНТРОЛЯ КРИСТАЛЛОВ НА ПЛАСТИНЕ
Малышев, Пузанов · ELECTRONICS Science Technology Business · 2022 · Subscription
NobleIDark:/48914/w1/20260523/7A70D77DDOI10.22184/1992-4178.2022.220.9.114.118
PaywalledRead at the publisher
The full text is at the publisher
You can read the abstract here, or open it at the publisher.
Abstract
Решить задачу раннего обнаружения дефекта позволяет межоперационный контроль на производстве, в том числе с применением метода зондового контроля на пластине. В статье представлен обзор российских технологий и методов зондового контроля кристаллов на пластине.