В работе произведён обзор и анализ существующих методов высокоточного интерферометрического контроля оптических поверхностей. Рассмотрена типовая структура автоматизированной интерференционной системы контроля. Представлены необходимые теоретические сведения о методике интерференционного контроля. Разработан программно-аппаратный комплекс для захвата и обработки интерферограмм от поверхности дифракционных решеток. Произведен выбор и обоснование используемого оборудования. Разработаны электрическая принципиальная схема МКСУ, схема алгоритма работы МКСУ, схема алгоритма работы комплекса. Разработано программное обеспечение для МКСУ, обеспечивающее получение информации от ПЗС-матрицы и её передачу с помощью разработанного протокола на ПК оператора. Реализован протокол работы с ПЗС матрицей. Разработан интерфейс пользователя (виртуальный пульт управления оператора) в среде LabVIEW, позволяющий: задавать настройки работы комплекса и ПЗС-матрицы, наглядно отображать получаемые данные, проводить дополнительную обработку интерферограмм, производить расчеты характеристик интерференционных полос, визуализировать результаты контроля, отображать промежуточное выкладки, диагностировать наличие дефекта исследуемой поверхности дифракционной решетки. Разработанный комплекс протестирован и успешно апробирован в реальных условиях работы.