Данная работа посвящена изучению Ð¾ÑÐ½Ð¾Ð²Ð½Ñ‹Ñ Ñ„Ð¸Ð·Ð¸ÐºÐ¾-Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð·Ð°ÐºÐ¾Ð½Ð¾Ð¼ÐµÑ€Ð½Ð¾ÑÑ‚ÐµÐ¹ процесса смешанного Ð¿Ð»Ð°Ð·Ð¼Ð¾Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð³Ð¾ глубокого анизотропного травления монокристаллического кремния на установке с индуктивно связанной плазмой (ИСП) и разработке на этой основе Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ð¸ глубокого анизотропного травления кремния. В связи с этим в Ñ Ð¾Ð´Ðµ выполнения работы были экспериментально определены Ñ Ð°Ñ€Ð°ÐºÑ‚ÐµÑ€ влияния Ð¾ÑÐ½Ð¾Ð²Ð½Ñ‹Ñ Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð¿Ð°Ñ€Ð°Ð¼ÐµÑ‚Ñ€Ð¾Ð² (мощность источника, напряжение смещения, давление в реакционной камере, Ñ€Ð°ÑÑ Ð¾Ð´Ñ‹ газов SF6, C4F8, O2 в реакционной смеси) на параметры травления(скорость, селективность травления, «растрав» структуры и угол наклона стенки профиля окна травления) при формировании Ð³Ð»ÑƒÐ±Ð¾ÐºÐ¸Ñ ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€ в кремнии. Работа проводилась на базе лаборатории СПбПУ им. «Петра Великого», где собиралась значительная часть материала: проводилось ПХТ структур, получение СЭМ-изображений, анализ Ð¿Ð¾Ð»ÑƒÑ‡ÐµÐ½Ð½Ñ‹Ñ ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€. Был проведен расчет параметра X, который демонстрирует каким образом соотношение фтора и углерода влияет на профиль Ð¿Ð¾Ð»ÑƒÑ‡Ð°ÐµÐ¼Ñ‹Ñ ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€. В результате была проанализирована Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ глубокого анизотропного травления, проведены расчеты соотношений фтора и углерода. Разработаны Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ получения Ð²ÐµÑ€Ñ‚Ð¸ÐºÐ°Ð»ÑŒÐ½Ñ‹Ñ ÑÑ‚ÐµÐ½Ð¾Ðº у Ð¿Ð¾Ð»ÑƒÑ‡Ð°ÐµÐ¼Ñ‹Ñ ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€, посредством in-situ контроля плазмы с помощью ОЭС.