NobleBlocks

Research indexJournal article

Ðнализ Ñ Ð¸Ð¼Ð¸ÑеÑкого ÑоÑÑоÑÐ½Ð¸Ñ Ð¿Ð¾Ð²ÐµÑÑ Ð½Ð¾ÑÑи поÑле аÑомно-Ñлоевого ÑоÑмиÑÐ¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¾ÐºÑидов железа на окÑиде кÑемниÑ

Баишев

Electronic Library of Peter the Great Polytechnic University1 Jan 2023Open access

NobleIDark:/48914/w1/20260523/248A0729DOI10.18720/spbpu/3/2023/vr/vr23-4323

Free to read at the publisher

You can read the abstract here, or the full text at the publisher.

Read at the publisher

Abstract

В данной работе проведено получение слоев оксида железа на подложке из оксида кремния путем атомно-слоевого осаждения (АСО). Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФС) определено Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ðµ состояние атомов в образце. Проведен анализ изменения Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð³Ð¾ состояния по толщине слоев и оценена толщина слоев. Проведено сравнение Ñ Ð°Ñ€Ð°ÐºÑ‚ÐµÑ€Ð¸ÑÑ‚Ð¸Ðº образцов – после осаждения и Ð¾Ð±Ð¾Ð¶Ð¶ÐµÐ½Ð½Ñ‹Ñ .

Discussion

Topics

More

Suggest a correction or report