Research indexJournal article
СТРУКТУРА И СВОЙСТВА НАНО-КЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ ПРИ ВНЕДРЕНИИ АТОМА НИКЕЛЯ
Сулайманов, Сулайманов, Ташметов and 4 others
cyberleninka.ru1 Jan 2025Open access
NobleIDark:/48914/w1/20260525/4CB02B65DOI10.24412/cl-37349-fks-4.232
СТРУКТУРА И СВОЙСТВА НАНО-КЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ ПРИ ВНЕДРЕНИИ АТОМА НИКЕЛЯ
Сулайманов, Сулайманов, Ташметов and 4 others · cyberleninka.ru · 2025
NobleIDark:/48914/w1/20260525/4CB02B65DOI10.24412/cl-37349-fks-4.232
Free to read at the publisher
You can read the abstract here, or the full text at the publisher.
Abstract
С развитием технологий формирования низкоразмерных структур становятся возможными эффективное управление структурными параметрами и модификация свойств материалов. Диффузия атомов элементов группы железа, в частности никеля, в кремниевые нанокластеры представляет перспективный путь регулирования их характеристик для микрои наноэлектроники.