シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値( バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)
Published in 日本結晶成長学会誌 • Jan 15, 2004
NobleIDNI9P94W44R37S07
Authors:,,
福山 博之
塚田 隆夫
渡邉 匡人
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!