Комплексные исследования эффектов зарядки полимерного резиста (ПММА) при электронной литографии

Приведены результаты измерений поверхностного потенциала зарядки пленок ПММА различной толщины под воздействием облучения электронными пучками различной энергии. Даны соответствующие диапазоны энергий первичных электронов для случаев как положительной, так и отрицательной зарядки диэлектриков. Показ... View More