Νανομηχανικές ιδιότητες Πυριτίου

Το καθαρό κρυσταλλικό πυρίτιο αποτελεί βασικό υλικό στη βιομηχανία των ημιαγωγών, ιδιαίτερα στην ανάπτυξη των μικρο/νανοηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS/NEMS). Για τον σχεδιασμό ή την κατασκευή των MEMS/ NEMS, απαιτείται μια σε βάθος κατανόηση των μηχανισμών παραμόρφωσης του πυριτίου κατά τη διάρκε... View More