Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации
Published in Приборы и техника эксперимента • Jan 1, 2014
NobleIDNI3P40W06R55S56
Authors:,,
В. И. Ковалев
А. И. Руковишников
С. В. Ковалев
Abstract
Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350–810 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность из...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!