NobleBlocks
Public

Расчет пропускной способности газового канала источников пучков быстрых нейтральных частиц методом Монте-Карло

Published in Микроэлектроника • Jan 1, 2013
Authors:
В. П. Кудря
,
Ю. П. Маишев

Abstract

В работе представлено описание модели, основанной на методе Монте-Карло, и приведены результаты математического моделирования пропускной способности выходной апертуры для ионного источника с ленточным пучком и того же источника с системой нейтрализации ионного пучка и электростатической отклоняющей ...

Finding related papers...

Discussions

(0)

No comments yet

Be the first to share your thoughts!