Расчет пропускной способности газового канала источников пучков быстрых нейтральных частиц методом Монте-Карло
Published in Микроэлектроника • Jan 1, 2013
Authors:,
В. П. Кудря
Ю. П. Маишев
Abstract
В работе представлено описание модели, основанной на методе Монте-Карло, и приведены результаты математического моделирования пропускной способности выходной апертуры для ионного источника с ленточным пучком и того же источника с системой нейтрализации ионного пучка и электростатической отклоняющей ...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!