Исследование процессов электрохимического формирования контактных структур для сборки интегральных микросхем

Pассмотрены процессы электрохимического осаждения олова для создания контактных элементов при сборке интегральных микросхем. Проведены исследования влияния органических добавок в сульфатные электролиты при формировании локальных вертикальных структур с подавлением бокового разрастания осаждаемого ма... View More