Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на стенки цилиндрических отверстий с высоким аспектным отношением
Published in Журнал технической физики • Jan 1, 2018
NobleIDNI1P11W50R62S28
Authors:,
А.В. Фадеев
К.В. Руденко
Abstract
Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!