ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Published in Вісник Черкаського державного технологічного університету • Sep 26, 2018
NobleIDNI7P36W55R00S45
Authors:,,
Constantine Bazilo
С. О. Білокінь
М. О. Бондаренко
Abstract
Currently leading manufacturers of electronic components serially produce a rather extensive list of elements, in which various microelectromechanical structures are included, such as various accelerometers, which are produced by millions of copies, resonators and electrical signals filters implemen...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!