Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота

In the paper, thin carbon films deposited by pulse-plasma ion-assisted sputtering of graphite in argon-nitrogen gas mixture are discussed. The EELS and electron diffraction showed the graphite phase enlargement with the ion assistance energy increase. Application of ion assistance during the deposit... View More