Влияние режимов электрохимического травления при одностадийном и двухстадийном формировании пористого кремния на степень окисления его поверхностных слоев в естественных условиях

В работе методами растровой электронной микроскопии и ультрамягкойрентгеновской эмиссионной спектроскопии были проведены исследования особенностейформирования многослойных структур пористого кремния и установлено влияние изменения плотности тока при электрохимическом травлении монокристаллических пл... View More