АЗРАБОТКА И ПРИМЕНЕНИЕ ЭКСПРЕСС-МЕТОДА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ОКНА ЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА
Published in Nanoindustry Russia • Jun 15, 2020
NobleIDNI7P37W62R91S35
Authors:,,
Е.Л. Харченко
Е.С. Шамин
A. V. Kuzovkov
Abstract
В данной работе приведены основы моделирования воздушного изображения, существующие методики и САПР для расстановки SRAF. На их основе разработан метод оценки правил расстановки вспомогательных непечатаемых структур. С помощью этого метода проведено исследование зависимости окна литографического про...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!