Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения
Published in Журнал технической физики • Jan 1, 2021
Authors:,
М.Ф. Панов
М.В. Павлова
Abstract
Разработана методика определения толщин после получения одно- и многослойных карбидкремниевых структур методом частотного анализа спектра инфракрасного отражения, на форму которого влияет спектральная интерференция в слоях и группах слоев. Анализ спектра выполнен в программном пакете LabView. Предст...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!