ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА НАНОСФЕРНОЙ ЛИТОГРАФИИ НА РАЗМЕРЫ ОСТРОВКОВЫХ НАНОСТРУКТУР

Статья раскрывает актуальность регулярных массивов островковых тонких пленок. Построена математическая модель зависимости высоты металлических островков от диаметра наносфер и толщины покрытия. Проведено исследование влияния мощности источника ионов и времени на толщину металлизации для последующего... View More