ИССЛЕДОВАНИЕ КИНЕТИКИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ С ПОВЕРХНОСТЬЮ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССЕ ГЛУБОКОГО КРИОГЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ
Published in Nanoindustry Russia • Mar 28, 2021
Authors:,
Я.А. Мирошкин
А.А. Резванов
Abstract
Данная работа посвящена исследованию взаимодействия химически активных частиц с поверхностью кремния в процессе глубокого анизотропного травления методом Cryo. Предложен метод количественного расчета кинетики частиц, базирующийся на адсорбционно-десорбционной модели Ленгмюра-Хиншелвуда.
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!