Латентное накопление поверхностных состояний в МОП структурах после ионизирующего облучения
Published in Физика и техника полупроводников • Jan 1, 2021
NobleIDNI9P62W45R95S32
Authors:
О.В. Александров
Abstract
Разработана новая количественная модель латентного накопления поверхностных состояний в МОП структурах после ионизирующего облучения и длительного отжига. Модель базируется на образовании под воздействием ионизирующего облучения ионов водорода H + не только в тонком подзатворном диэлектрике, но и в ...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!