ПРИНЦИПЫ АВТОМАТИЗАЦИИ МАРШРУТОВ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ
Published in Nanoindustry Russia • Oct 3, 2021
NobleIDNI4P16W98R29S03
Authors:,,
К.А. Медведев
А.В. Колобов
В.В. Иванов
Abstract
В работе сформулированы основные принципы автоматизации маршрутов проектирования фотошаблонов и продемонстрировано их применение на примере интеграции маршрутов 180 и 90 нм в рамках единого программного комплекса.
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!