Особенности роста тонких пленок аморфного кремния, полученных методом магнетронного распыления
Published in Поверхность Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования • Jan 1, 2015
NobleIDNI5P00W78R53S00
Authors:,,
Д. М. Митин
В. А. Александров
А. А. Скапцов
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!