电子回旋共振等离子体源的数值模拟

摘要 采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象 Abstract 作者及机构信息 刘明海3, 胡希伟1, 邬钦崇2, 俞国扬2 (1)中国科学技术大学近代物理系,合肥230026; (2)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031; (3)中国科学院等离子体物理研究所,合肥230031 中国科学技术大学近代物理系,合肥230026 基金项目: 国家自然科学基金!(批准号 :6 9493 5 0 0... View More