电磁驱动器与矩形静压空气止推轴承混合支承工作台的设计与实现

研究了电磁驱动器与矩形静压空气止推轴承混合支承工作台的设计与实现. 由于工作台的单一平面静压空气止推轴承同时采用电磁驱动器构成闭环主动控制, 具有结构简单精度高的特点. 工作台机械结构对称, 只有一个移动部件, 静压空气止推轴承气浮块与移动台刚性连接, 直接加工在移动台轴承面上的铁心和 4 个独立线圈构成电磁驱动器. 设计实现了工作台实验原型, 推导了工作台止推轴承3个自由度解耦的模型. 在DOS下用C语言实现了工作台的闭环控制算法, 控制器设计采用任意极点配置, 被控对象的模型忽略了静压空气轴承特性. 工作台在垂直方向上能实现精密微定位, 并能作为移动台平面 3 个自由度运动的支承, 对平面... View More