Влияние анизотропии системы фтористоводородный травитель–кремний на форму пор, образующихся при электрохимическом травлении кремния
Published in Доклады Академии наук • Jan 1, 2015
NobleIDNI5P59W99R76S09
Authors:,,
Е. Н. Абрамова
А. М. Хорт
Ю. В. Сыров
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!