ТЕПЛОВОЙ МЭМС-ДАТЧИК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СУБАТМОСФЕРНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ
Published in Nanoindustry Russia • Dec 29, 2020
NobleIDNI2P61W31R08S90
Authors:,,
В.Е. Денисов
Г.И. Орешкин
М.М. Поздняков
Abstract
Предложена оригинальная концепция датчика давления на основе микромеханической деформации тонкопленочной мембраны вблизи системы высокочувствительных термопар. Показано, что оптимальная конструкция датчика обеспечивает чувствительность до 4,4 мК/Па в широком диапазоне давлений (от 0,01 Па до 100 кПа...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!