Пленки кремний-германий-на-изоляторе нанометровой толщины:метод создания и свойства / Тысченко И.Е., Хмельницкий Р.А., Володин В.А., Попов В.П.

Структуры кремний-германий-на-изоляторе (КГНИ) рассматриваются как один из возможных путей создания гибридных интегральных схем и увеличения быстродействия приборов, созданных на основе кремниевых подложек. Интерес к КГНИ структурам связан в первую очередь с возможностью увеличения подвижности носит... View More