ВПЛИВ ЛЕГУВАННЯ АЛЮМІНІЄМ НА КІНЕТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТОНКИХ ПЛІВОК ОКСИДУ ЦИНКУ
Published in Measuring and computing devices in technological processes • May 27, 2021
NobleIDNI7P69W04R35S47
Authors:,,
А. Кашуба
І. Семків
P. Петрусь
Abstract
Представлені результати досліджень дисперсії параметрів та оптичних функцій для тонкої плівки оксиду цинку легованого алюмінієм. Осадження тонких плівок ZnO, легованих Al (2,5 мас.%), виконувалось методом високочастотного магнетронним напилення. Тонка плівка ZnO:Al кристалізується в гексагональній с...
Subject
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!