时空域共轭干涉复函数耦合的双波长干涉算法

为从双波长莫尔条纹中提取合成波长干涉信息以扩展测试量程，提出了时空域共轭干涉复函数耦合算法。利用干涉图间时域相移与空域载频的转换，低载频时分离频谱以获取时空域复函数，经共轭耦合提取合成波长干涉图，且不引入其他干涉信息。干涉图组内单波长π/2与组间合成波长π/2的双重移相策略，实现了合成波长干涉图提取后的直接解调。与传统空域傅里叶变换方法相比，考虑波长间相移偏差，算法所需载频数值仅为前者的0.077。仿真峰谷值为74.2 nm的波面在莫尔条纹包络数目为1时，恢复偏差峰谷值优于0.5569 nm。实验中，7.8 μm高度台阶样品在低载频时，阶跃高度的相对误差仍优于0.94%。仿真与实验数据验证了算... View More