Разработка топологии тестового фотошаблона для отработки технологического процесса формирования вольфрамовой металлизации в КМОП СБИС посредством метода химико-механической планаризации
Published in Труды НИИСИ РАН. • Jan 11, 2021
NobleIDNI4P55W76R75S18
Authors:,
Букатин С.В.
Evgeny A. Semenishchev
Abstract
Разработан новый принцип формирования топологии на примере тестовых структур для отработки технологического процесса формирования вольфрамовой металлизации с использованием химико-механической планаризации. Разделение повторяющихся структур на отдельные модули позволяет разместить всю необходимую то...