Кинетика и концентрации активных частиц в плазме галогенводородов

Проведено сравнительное исследование кинетики активных частиц в плазме HX (X = F, Cl, Br) в условиях, характерных для процессов плазмохимического и реактивно-ионного травления микро- и нано-структур. Установлены зависимости концентраций исходных веществ и продуктов плазмохимических реакций от концен... View More