АНАЛИЗ И СРАВНЕНИЕ ОПТИМИЗАЦИОННЫХ АЛГОРИТМОВ ДЛЯ ЗАДАЧИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРАВИЛ РАССТАНОВКИ НЕПЕЧАТАЕМЫХ ВСПОМОГАТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР С УЧЕТОМ ИХ ВЛИЯНИЯ НА ШЕРОХОВАТОСТЬ

В работе приводится описание особенностей формирования шероховатости боковых стенок для структур, изготов- ленных с использованием фотолитографии. Показано, что одним из основных эффектов, влияющих на амплитуду шероховатости, является эффект оптической близости, что подтверждается на основе анализа ... View More