シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値( バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)
Published in 日本結晶成長学会誌 • Jan 15, 2004
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塚田 隆夫
水戸 光将
宝沢 光紀
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