Плазмохимическое травление кремния в емкостно-связанном ВЧ разряде
Published in Electronic Library of Peter the Great Polytechnic University • Jan 1, 2017
Authors:
Светлана Моор
Abstract
Разработана и собрана установка для плазмохимического травления материалов при пониженном давлении. Было изучено влияние технологических параметров на скорость плазмохимического травления.
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!