การปรบเปลยนกระบวนการตงคาพารามเตอรทเหมาะสมในการผลตเซมคอนดกเตอร
Published in NRCT Data Center • 2026
NobleIDNI2P42W71R72S76
Authors:
ศิริวรรณ ศุภโรจน์
Abstract
งานวิจัยนี้มุ่งเน้นที่จะปรับปรุงกระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการตัดไดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อทำให้กระบวนการตั้งค่าพารามิเตอร์ง่ายขึ้น และลดความผิดพลาดที่เกิดจากการตั้งค่าพารามิเตอร์ กระบวนการตัดไดเป็นการตัดแผ่นเวเฟอร์ออกเป็นชิ้น ๆ เพื่อใช้ในกระบวนการถัดไป ซึ่งพบว่ามีจำนวนของ...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!