NobleBlocks
Public

ÐпÑиÑеÑÐºÐ°Ñ Ð»Ð¸ÑогÑаÑÐ¸Ñ Ð² УФ и ÐУФ диапазоне

Published in Electronic Library of Peter the Great Polytechnic University • Jan 1, 2024
NobleIDNI9P21W56R96S24
Authors:
Ирина Захарова
,
Марина Елистратова

Abstract

В учебном пособии рассмотрены физические основы Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð¿Ñ€Ð¾Ñ†ÐµÑÑÐ¾Ð² литографии – базовой операции планарной Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ð¸ интегральной электроники. РассмотÑ...

Finding related papers...

Discussions

(0)

No comments yet

Be the first to share your thoughts!