Способ создания регулярных симметричных наноразмерных углублений на поверхности полупроводниковой подложки
Published in Southern Federal University (SFEDU) • Jan 1, 2024
NobleIDNI4P93W35R04S48
Authors:,,
Наталия Евгеньевна Черненко
Данил Владимирович Кириченко
Сергей Вячеславович Балакирев
Abstract
Способ создания регулярных симметричных наноразмерных углублений на поверхности полупроводниковой подложки, заключающийся в том, что на полупроводниковой подложке методом фокусированных ионных пучков формируют первичные наноразмерные углубления, затем проводят высокотемпературный отжиг полупроводник...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!