長方形マイクロ波プラズマ源内のプラズマ空間分布

長方形プラズマ源内で2.45 GHzのマイクロ波と永久磁石による磁場によってArプラズマを生成した。 ラングミュアプローブのアレイによって電子密度と電子温度の2次元空間分布を測定した。永久磁石の配列は電子密度と電子温度の分布に影響し、一方マイクロ波のアンテナと磁石の距離を変えるとマイクロ波の反射が変化した。均一なプラズマ形状になる最適な磁場の構造を議論した。