NobleBlocks
Public

ÐекоÑаÑивнÑе покÑÑÑÐ¸Ñ Ð½Ð° оÑнове окÑида алÑминиÑ, наноÑимого меÑодом аÑомно-Ñлоевого оÑаждениÑ

Published in Electronic Library of Peter the Great Polytechnic University • Jan 1, 2021
Authors:
Аксенова, Валерия

Abstract

В данной работе рассмотрены возможности применения процесса атомно-слоевого осаждения для нанесения Ð´ÐµÐºÐ¾Ñ€Ð°Ñ‚Ð¸Ð²Ð½Ñ‹Ñ Ð¿Ð¾ÐºÑ€Ñ‹Ñ‚Ð¸Ð¹. Изучена методика получения слоев окси...

Finding related papers...

Discussions

(0)

No comments yet

Be the first to share your thoughts!