Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников
Published in Zenodo (CERN European Organization for Nuclear Research) • Dec 24, 2021
NobleIDNI2P61W17R35S82
Authors:
Дмитрий Григорьевич Марголин
Abstract
В статье рассматриваются возможности интеграции экологически безопасных практик в процесс химико-механической планаризации при производстве полупроводников. Особое внимание уделяется анализу современных технологий, направленных на снижение использования токсичных химических реагентов, оптимизацию по...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!