ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ГРАФИТА ВАКУУМНЫМ МЕТОДОМ
Published in Zenodo (CERN European Organization for Nuclear Research) • Apr 25, 2022
NobleIDNI1P10W86R69S99
Authors:
Бафоев Бахром Ботирович
Abstract
Аннотация. В статье рассмотрены концептуальные требования к методы напыления широко используются в современной микроэлектронике. Высокая скорость осаждения и атомная энергия, падающая на подложку во время осаждения, позволяют использовать эти методы для получения пленок, имеющих различные составы и ...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!