ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА МЕЖФАЗНЫЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В КРЕМНИЕВЫХ КОНТАКТНЫХ СТРУКТУРАХ

Развитие современной микро- и наноэлектроники сопровождается повышением рабочих частот и температур, что предъявляет строгие требования к стабильности электрических контактов металл–полупроводник. В кремниевой электронике ключевую роль играют омические контакты, обеспечивающие минимальные потери при... View More