ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА УДАРА
Published in Nanoindustry Russia • Jun 30, 2025
NobleIDNI7P268W800R303S329
Authors:,,
Е.С. Кочурина
А.И. Виноградов
В.В. Калугин
Abstract
В данной работе представлены технологические аспекты получения микромеханического датчика удара. Рассмотрены результаты исследования процесса плазмохимического травления для формирования вертикальных щелей в кремнии. Представлен способ получения кремниевых элементов заданной конструкции. Проведен ан...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!