ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИКЕЛЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ, ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЙ В ЭЛЕКТРОНИКЕ

Проведен анализ основных структурных и физико-химических свойств тонких пленок Ni, осажденных методом атомно-слоевого осаждения с использованием ацетилацетоната никеля (II) и метанола, выступающего восстановителем. Продемонстрировано влияние атмосферы отжига и подложки на структуру и свойства пленок... View More