МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ С ИНДУКТИВНО СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ КАК ЭФФЕКТИВНЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ МАТЕРИАЛОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННОМ ПРОИЗВОДСТВЕ
Published in ELECTRONICS Science Technology Business • Apr 3, 2026
Authors:
А. Трушина
Abstract
В современной микроэлектронике размеры элементов стремятся к значениям менее 5 нм, в то время как их плотность на кристалле возрастает. В таких условиях наличие даже единичных атомов примесей может пагубно влиять на работу конечного продукта. Так, к примеру, примеси железа, меди или натрия на кремни...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!