全石英光纤法布里-珀罗高温振动传感器

针对高温环境下振动监测面临的传感器失效与信号失真问题，本文提出了一种全石英光纤法布里-珀罗高温振动传感器。设计了基于石英球透镜的准直耦合结构，实现了光纤与高温区振动敏感结构的一体化集成。利用微机电系统(MEMS)加工技术与热压键合技术实现传感器敏感单元批量化制备。采用三波长动态解调与光谱互相关解调相结合的方法，实现了对高温环境下振动信号的提取和温度补偿，消除了温度波动对振动灵敏度的干扰。实验结果表明，从室温（23 °C）至800 °C，传感器的灵敏度由1.051 nm/g降低到0.8915 nm/g；经温度补偿后，传感器的残差平方和最大为0.168，全量程误非线性误差不大于1.033%；在动态... View More