МЕТОДОЛОГИЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ НАДЕЖНОСТИ НАНОРАЗМЕРНЫХ МОП-ТРАНЗИСТОРОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ГОРЯЧИХ ЭЛЕКТРОНОВ
Published in Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу • Jun 30, 2026
Authors:,,
А.В. Воеводин
Андрей Валерьевич Селецкий
А.А. Михайлов
Abstract
Исследованы NМОП-транзисторы с длиной затвора 90 нм на воздействие горячих электронов в экстремальном режиме стресса. Приведены результаты. Предложена методика оперативного контроля надежности для оценки стабильности серийных технологических процессов и при разработке технологического маршрута.
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!