АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ ГЕНЕРАЦИЯ ТОПОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ НА ОСНОВЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ
Published in Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу • Jun 30, 2026
Authors:,,
Е.А. Михайлова
В.В. Слезкин
А.Е. Лапин
Abstract
Работа посвящена автоматизированной генерации топологического представления сечений полупроводниковых приборов на основе данных, полученных из САПР приборно-технологического моделирования (англ. TCAD). Предлагаемый подход позволяет снизить вероятность ошибок и ускорить процесс разработки топологии п...
Finding related papers...
Discussions
(0)No comments yet
Be the first to share your thoughts!